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090 569.4 장69반
245 00 반도체장비의 이해 / 장인배 저
260 서울 : 에이퍼브(에이퍼브프레스), 2024
300 xvii, 709 p. : 삽화(일부천연색), 도표 ; 26 cm
500 색인 수록
650 8 반도체 장비(기계)
653 반도체장비 이해 반도체 반도체공학
700 1 장인배, 1964-
950 0 \38000
049 0 SM0000272822 일